潔凈室緩沖與隔離
潔凈室的壓差控制是防止污染物滲人或逸出潔凈室的重要措施。但是當需要的壓差值太大，不容易達到時，就要加設輔助設施。常用的輔助設施有緩沖室、氣閘室、氣幕室和空氣吹淋室。輔助設施也稱為緩沖設施，其作用是防止將室外污染物帶人室內，或者減少室內污染物發生量。當人或物從非潔凈區進人潔凈區時，應通過緩沖設施。
(1)氣閘室設置在潔凈室出人口、阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制的小室叫氣閘室。氣閘室的幾個門，在同一時間內只能打開一個，這樣做是為了防止外部受污染的空氣流人潔凈室內。當兩側需要的壓差太大且難以達到時，可以設置氣閘室。
氣閘室是一間門連鎖不能同時開啟的房間，不送潔凈風的這種房間最多起緩沖作用。這樣的緩沖不能有效防止外界污染物入侵，因為當進入這個氣閘室時，外界污染空氣已經隨人的進入而進入，當再開二道門進入潔凈室時，又把已被污染的氣閘室內的空氣帶入潔凈室。
(2) 緩沖室緩沖室是位于潔凈室人口處的小室。同氣閘室一樣，緩沖室的幾個門，在同一時間內只能打開一個。緩沖室一方面是為了防止污染物進人潔凈室，另一方面還具有補償壓差的作用。緩沖室相對于潔凈室為負壓，相對室外環境為正壓。緩沖室屬于準潔凈區域，緩沖室內也要進行適量的潔凈送風，使其潔凈度達到將要進人的潔凈室的潔凈度等級。
(3) 空氣吹淋室 空氣吹淋室利用噴嘴噴出的高速氣流使衣服抖動起來，從而把衣服表面沾的塵粒吹掉。它通常設置在潔凈室的人員入口處。

垂直單向流潔凈室由于自凈能力強，無湍流現象，人員散塵能迅速被回風帶走而不至于污染產品，鑒于這種有利條件，可不設吹淋室而改設氣閘室。

(4) 傳遞窗 設置在不同級別的潔凈區，以及潔凈區和非潔凈區之間的隔墻上，可以防止兩潔凈區之間物體流經非潔凈區時被污染，通過傳遞窗，可以把物品、工件、產品等進行傳遞。它設有兩扇不能同時開啟的門，可將兩邊的空氣隔斷，防止污染空氣進人潔凈區。